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更新時間:2025-11-22
瀏覽次數:431400℃真空氣氛爐是集高溫加熱、真空環境與氣氛調控于一體的精密設備,核心適配無氧化、低污染的材料處理需求,兼顧穩定性與通用性,以下是其核心配置、性能優勢及典型應用的詳細介紹:
核心配置
配置類別具體信息
爐體與爐膛雙層水冷 / 風冷殼體,中間填充高純氧化鋁多晶纖維保溫材料,爐殼表面溫度≤60℃,減少熱量損耗且保障操作安全。爐膛采用剛玉或碳化硅材質內襯,抗熱震性強,加熱區長度 300-500mm,恒溫區溫度均勻性≤±3℃。
加熱與控溫系統加熱元件主流為硅碳棒(適配氧化性氣氛)或硅鉬棒(高溫穩定性更強),支持 1400℃長期連續運行。控溫采用 PID 智能調節 + S 型 / B 型熱電偶,控溫精度達 ±1℃,支持 50 段程序編程,可自定義升溫、保溫、降溫曲線。
真空與密封系統搭配機械泵 + 分子泵組合,極限真空度可達 10??Pa,基礎配置機械泵時可達 10?2Pa;爐門與爐管接口采用不銹鋼法蘭 + 耐高溫金屬密封圈密封,漏率≤1×10??Pa?m3/s,有效隔絕空氣滲入。
氣氛調控系統預留多組氣路接口,可通入氮氣、氬氣等惰性氣體及氫氣等還原性氣體,配備質量流量控制器,氣體流量調節精度 ±1% FS,部分機型帶氣體純化裝置,保障氣氛純度≥99.999%。
性能優勢
環境可控性強:真空與氣氛模式可靈活切換,真空環境能避免材料氧化、脫碳,惰性 / 還原性氣氛可適配敏感材料加工,滿足多場景無污染處理需求。
安全防護全面:具備超溫斷電、漏電保護、真空度異常報警、氣體泄漏檢測等多重防護,高壓氣體場景配備防爆泄壓閥,爐門開啟自動切斷加熱電源,降低實驗風險。
操作便捷智能:支持電腦遠程控制與數據實時記錄,實驗參數可存儲追溯;部分機型帶爐管快速更換結構,搭配萬向輪設計,方便移動與維護。
典型應用
金屬與合金加工:鈦合金、高溫合金的真空退火,消除內部應力與雜質氣體;鎢、鉬等難熔金屬粉末的燒結成型,提升材料致密度與耐高溫性能。
陶瓷與半導體領域:氮化硅、碳化硅等特種陶瓷的真空燒結,減少孔隙率;半導體硅片、碳化硅外延片的高溫退火,消除晶格缺陷,提升器件穩定性。
新能源與新材料研發:鋰電池正極材料(如磷酸鐵鋰、三元材料)的真空燒結改性,優化晶體結構;MOFs 材料、碳納米材料的高溫活化,去除模板劑與雜質,提升材料性能。
科研與精密制造:高校、科研院所開展材料高溫相變、真空化學反應等實驗;義齒陶瓷、精密金屬零件的真空熱處理,保障產品表面光潔度與尺寸精度。
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